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仪器型号为Thermo scientific Apreo 2S，搭配Oxford Ultim Max 100能谱仪、Carl Zeiss Axioscope5光学显微镜及金竟科技阴极荧光成像系统实现样品观察、晶体形态、成分测定、发光性能等多性能的表征。电子分辨率高达0.6nm，10mm工作距离下1.0nm分辨率。放大倍数不低于2000000倍，配备二次电子探测器：ETD、T2、T3及背散射电子探测器T1、ABS。

能谱仪配置分析型硅漂移电制冷探测器，晶体有效面积100mm²，高分子超薄窗设计。分析元素范围Be-Cf。分辨率Mn Ka优于127eV，F Ka优于64eV。定量分析采用XPP定量修正技术，可对轻元素和低电压进行定量修正。